実験装置
評価装置
その他(外部の研究装置)
研究装置
実験装置
多元RFマグネトロンスパッタ装置
2元RFマグネトロンスパッタ装置
電極スパッタ装置
触針式膜厚計 X線回折装置 I-V特性装置
高温炉 電子分光装置 交流インピーダンス
その他(外部の研究装置)
・高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 放射光施設 BL-19B}
・共鳴X線非弾性散乱装置(RIXS)
{Lawrence Berkeley National Laboratory, Advanced Light Source, BL-7.0.1}