設置機器紹介
分光エリプソメーター
- 【登録名称】
- 分光エリプソメーター
- 【登録番号】
- 41
- 【正式名・メーカー・型式】
- Woollam・M-2000V-SUT
- 【目的】
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分光偏光解析法(分光エリプソメトリー)を用い,被測定試料の膜厚および光学定数の波長分散特性の算出
- 【概要・得られる情報】
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エリプソメーターでは薄膜やバルク材料の解析に偏光を用いて,試料表面からの反射光を観測して偏光状態の変化を測定する。
薄膜-基板界面からの反射した光と表面反射光との干渉光を解析して,薄膜の膜厚 (t) や光学定数 (n, k) を求めることができる。
エリプソメーター測定では膜厚と屈折率を求めることが一般的だが,それ以外にも表面や界面の粗さ,結晶の度合,合金比率やドーピング濃度,位相差なども求めることもできる。
これらの値は,エリプソメーターデータに対してのモデル解析によって求められる。
本装置には,装置制御,データ収集および解析のすべてをこなす包括的なソフトウェア(CompleteEASE)が付属している。
このプログラムには,多くの光学モデルや最新の数学を用いたフィッティングアルゴリズムが搭載されているので,様々な薄膜系について精度の高いデータ解析が可能。
- 【運営責任者・連絡先】
- 工業化学科 河合武司(内線5747)
利用に際して
利用する際には,必ず講習会を受講すること。
利用規程を参照 (pdf形式) マニュアルを参照 (pdf形式)