設置機器紹介

導電薄膜作製用コンパクトイオンスパッタ装置

【登録名称】

導電薄膜作製用コンパクトイオンスパッタ装置

【登録番号】

74

【正式名・メーカー・型式】

SC-701Mkll ADVANCE

【目的】

準備中

【概要・得られる情報】

準備中

【運営責任者・連絡先】

応用化学科　根岸雄一 (内線5838)

利用に際して

準備中　
利用規程を参照 (pdf形式)　マニュアルを参照 (pdf形式)