設置機器紹介

走査電子顕微鏡

【登録名称】

走査電子顕微鏡

【登録番号】

39

【正式名・メーカー・型式】

HITACHI・S-4800

【目的】

本装置はソフトマテリアルの解析を目的とした走査電子顕微鏡である。 したがって，目的とする装置には，試料ダメージを最小限にして観察可能なこと，特に対象サンプルの最表層の微細構造を低侵襲的に解析できることを必要とする。 本装置はリターディング機能を有し，電子線の加速電圧100 V未満の領域において，高い分解能で試料の最表面を観測することができる。

【概要・得られる情報】

SEMは真空中で細く絞った電子ビームで試料表面を走査し，そのとき試料から出てくる情報 (信号) を検出して画面上に試料表面の拡大像を表示する装置である。 真空中で電子ビームを試料に照射すると，下図のように二次電子，反射電子，特性X線などが放出される。 SEMでは，主として二次電子または反射電子信号を用いて像を形成する。 二次電子は試料表面近くから発生する電子で，それを検出して得られた二次電子像は試料の微細な凹凸を反映している。 反射電子は試料を構成している原子に当って跳ね返された電子で，反射電子の数は試料の組成 (平均原子番号，結晶方位など) に依存する。 したがって，反射電子像は，試料表面の組成分布を反映した像となる。

【運営責任者・連絡先】

応用化学科　大塚英典 (内線5830)

利用に際して

使用する際には，装置メーカーの開催する講習会に必ず参加すること。 講習会に出席していない研究室は原則として使用することができません。
利用規程を参照 (pdf形式)　 マニュアルを参照 (pdf形式)