研究室での様子
研究室の実験装置
薄膜を作製する装置
共和理研社製 スピンコーター
K-359SD-1
AS ONE社製 デジタルホットプレート
ND-1
ULVAC-RIKO社製 赤外線ランプ加熱装置
MILA-3000
研究室オリジナル
液体供給平衡気化方式 有機金属気相堆積装置
LCEE-MOCVD
作製した薄膜を評価する装置
日本電子社製 走査型電子顕微鏡
JSM-6380
aixACCT社製 強誘電体評価システム
TF Analyzer2000
強誘電体薄膜評価用プローバーシステム
横河ヒューレットパッカード社製
リーク電流測定装置
4140B
東陽テクニカ社製 強誘電体評価システム
FCE-1A
オリンパス社製 システム金属顕微鏡
BX-51M
(デジタル写真取込装置DP-12付属)
PANalytical社製 X線回折装置
X'Pert PRO MRD
工学部安藤研究室所管